掃描電鏡服務制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等，對于導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。打開鏡筒上部的發(fā)射倉頂蓋，使用專業(yè)工具來提取鏡筒中的襯管，提取過程取出之后，然后再用專用工具的另外一根專用工具插入襯管中，慢慢推出襯管中的幾個光闌。襯管和光闌清洗完成后，經烘烤后趁熱依照光闌的原來的順序倒過來，按專用工具上的規(guī)定的距離刻度依次推進到襯管中的原位置。
電子經過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線能譜分析儀等來區(qū)分這些信號以獲得所需要的信息。雖然X射線信號不能用于成象，但習慣上，仍然將X射線分析系統劃分到成象系統中。
掃描電鏡服務有些探測器造價昂貴，比如背散射電子探測器，這時，可以使用二次電子探測器代替，但需要設定一個偏壓電場以篩除二次電子。
對于掃描電鏡而言，靠近鎢燈絲最近的零件為柵極片，而柵極片的尺寸和形狀對于電子源交叉束斑的尺寸大小、形狀乃至亮度都有直接的影響。光柵通常采用鉭等耐高溫又不易氧化的材料制成，光柵的中心孔直徑約500μm。由于負偏壓的存在，入射的高能電子束雖然沒有直接接觸到光柵，但是鎢陰極的加熱溫度高達2700K左右，而且其陰極尖距離光柵的中心孔邊緣約0.5mm，所以光柵容易受到陰極揮發(fā)出來的鎢和氧化物的污染，因此光柵需要經常進行清洗，否則時間久了，容易造成鎢陰極和光柵之間的打火現象。清洗光柵和陽極帽上的氧化鎢及其他污染物，可用金屬拋光液進行擦拭清洗，然后擦拭光亮后，用流水進行清洗，再依次分別放入氫氧化鉀的酒精溶液，雙氧水，丙酮，高純度酒精中，進行超聲波清洗，最后再用紅外烘烤燈15min趁人進行組裝。
掃描電子顯微鏡是利用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數、化學成分、或晶體結構等)的差異，在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域產生不同的亮度差異，從而獲得具有一定襯度的圖像。成像信號是二次電子、背散射電子或吸收電子，其中二次電子是最主要的成像信號[。為其成像原理圖，高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉換成圖像信息。
掃描電鏡服務襯管和光闌是電子束和透鏡磁場的部位，而且光闌還是電子槍至樣品倉這段通道中最狹小的關隘。襯管和聚光鏡光闌都是用無磁性的不銹鋼材料做出的，而物鏡光闌通常是用鉑、鉬或金等無磁性的貴金屬材料做成的，一定要用無磁性的金屬材料，以避免引入不必要的干擾磁場，這樣才不會干擾電子原有的運動軌跡，電子束才能受原設計的軌道運動，也才能讓電子束斑盡可能處于螺旋對稱的狀態(tài)。
